制備工藝 氧氣—乙炔火焰法制備高純度球形硅微粉技術介紹 隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展,作為大規(guī)模集成電路封裝領域的關鍵材料——高純度球形硅微粉的研究越來越受到關注。本研究分別以天然石英和稻殼為原料,結… 他山石 2021年11月18日 4916 0 0